废气处理成套设备主要包括蓄热室、氧化室、风机等，它通过蓄热室吸收废气氧化时的热量，并用这些热量来预热新进入的废气，从而有效降低废气处理后的热量排放，同时节约了废气氧化升温时的热量损耗，使废气在高温氧化过程中保持着较高的热效率（热效率95%左右），其设备安全可靠、操作简单、维护方便，运行费用低，VOCs去除率高。

废气处理成套设备的工作原理是：有机废气首先经过蓄热室预热，然后进入氧化室，加热升温到800℃左右，使废气中的VOCs氧化分解成CO2和H2O；氧化后的高热气体再通过另一个蓄热室热处理，然后烟气排出RTO系统。这个过程不断循环再生，每一个蓄热室都是在输入废气与排出处理过的气体的模式间交替转换。切换时间根据实际情况可以调整。

净化率高，净化率一般在99.5%以上。可实现全自动化控制，操作简单，运行稳定，安全可靠性高。蓄热室内温度均匀分级增加，加强了炉内传热，换热效果更佳，炉膛容积小，降低了设备的造价。采用分级燃烧技术，延缓状燃烧下释出热能;炉内升温匀，烧损低，加热效果好，不存在传统燃烧过程中出现的局部高温高氧区，抑制了热力型氮氧化物(NO)的生成，无二次污染。

（1）预处理：通过喷淋、过滤、吸附等去除废气中的酸碱腐蚀气体、颗粒粉尘等，处理后的废气经风机加压进入吸附器，有机组分在穿透活性炭纤维床层时被吸附在吸附剂表面，净化后的气体从吸附箱顶部排放。

（2）脱附—再生：吸附回收工艺采用水蒸气脱附炭纤维上的有机物，将活性炭纤维进行再生。脱附蒸汽由吸附器顶部进入，加热活性碳纤维吸附芯，脱附吸附的有机物。脱附后的活性碳纤维湿度和温度都很高，利用新鲜空气对吸附器进行吹扫，使碳纤维吸附床层迅速降温除湿，随后进入下一个循环。

（3）冷凝回收：脱附产生的混合蒸汽经冷凝器冷凝成液态，在油水分离器内通过重力分层回收有机溶剂。